さらに、本実施形態では、ハウジング１２の軸線方向先端側の支持部１２ｋと、軸線方向基端側のシリンダ構造１２ｓの内面との間に、これらの間の内側寸法（内径）の差に相当する段差を備えた内側段部１２ｅが設けられるとともに、作動体１３の軸線方向先端側の被支持部１３ｋと、軸線方向基端側のシリンダ摺接部１３ｓとの間に、これらの間の外側寸法（外径）の差に相当する段差を備えた外側段部１３ｅが設けられる。これにより、シリンダ構造１２ｓと作動体１３の受圧部１３ｄ及びシリンダ摺接部１３ｓにより構成されるシリンダ構造の作動面積を大きく確保して大きな把持力を容易に実現できるとともに、軸線方向先端側の構造のコンパクト化が容易化される。
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１０…ハンドリングユニット、１０ｘ…軸線、１１…コレット、１１ａ…基準部、１１ｂ…弾性変形部、１１ｃ…フィンガー部、１１ｄ…係止段部、１１ｓ…スリット、１１ｇ…把持面、１１ｐ…規制溝、１２…ハウジング、１２ａ…本体、１２ｂ…基端部、１２ｃ…先端部、１２ｄ…支持部、１２ｅ…内側段部、１２ｋ…支持部、１２ｐ…流体供給口、１２ｑ…通気口、１２ｏ…開口部、１２ｓ…シリンダ構造、１３…作動体、１３ａ…軸孔、１３ｂ…支持面部、１３ｃ…駆動部、１３ｄ…受圧部、１３ｅ…外側段部、１３ｋ…被支持部、１３ｐ…規制溝、１３ｓ…シリンダ摺接部、１３ｔ…通気経路、１４…作動ばね、１５…保持ばね、１６…内周側規制ピン、１７…外周側規制ピン、１００…ハンドリング装置、１０１…制御部、Ｓ１…作動体位置検出器、Ｓ２…コレット位置検出器、Ｓ３～Ｓ５…把持態様検出器、Ｓ６…把持対象物検出器、Ｍ１，Ｍ２，・・・，Ｍｎ…動作部（ユニット駆動系含む）
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その上、本実施形態では、シリンダ構造１２ｓの内面に対する作動体１３のシリンダ摺接部１３ｓの気密なシール領域の軸線方向の範囲内に、上記基準部１１ａと支持面部１３ｂの摺接構造が配置されるので、コレット１１（特に基準部１１ａ）の外周側にもシリンダ構造１２ｓの一部が配置されるため、軸線方向のコンパクト化を図ることができる。また、シリンダ構造１２ｓの上記シール領域の内周側に支持面部１３ｂが配置されることで、支持面部１３ｂの支持面の位置及び姿勢の高精度化を図ることができるため、コレット１１の把持精度や繰り返し精度をさらに向上できる。
本発明において、前記コレットの内部には軸孔が設けられ、該軸孔の内部から軸線方向先端側へ向けての流体の供給、若しくは、軸線方向先端側から前記軸孔を介した流体の排出、を可能とする流体給排口が設けられることが好ましい。ここで、前記流体給排口は、前記ハウジングの基端面に開口することが望ましい。
図９は、上記第１～第７実施形態のハンドリングユニット１０を各種のロボット構造に接続することによって構成されるハンドリング装置１００の全体構成を模式的に示すブロック図である。なお、ロボット構造は特に限定されず、直動ロボットでもスカラー型ロボットでも構わない。また、図示例ではハンドリングユニット１０を示すが、その代わりに、上述の他の実施形態に係るハンドリングユニット２０～７０を同様に用いることができる。ハンドリングユニット１０は、制御装置１０１に接続されるとともに、上述のコネクタ１８を介して流体供給源１０２に接続される。流体供給源１０２は、流体供給路１０３に沿って設置された圧力調整器Ｐ１及び開閉弁Ｖ１を経て、流体を供給する。流体供給源１０２の例としては、コンプレッサやガスボンベなどの圧縮エア供給源が挙げられる。
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本発明において、前記作動体では、前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲に対して、相互に重なる軸線方向の範囲に前記コレット摺接部が設けられることが好ましい。ここで、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面とが気密に構成される軸線方向の範囲は、前記シリンダ側摺接部と前記シリンダ構造の内面との間に単一のシール部材のみが配置される場合には当該シール部材が配置される軸線方向の範囲、或いは、複数のシール部材が配列される場合には、複数のシール部材の間の相互に最も離れたシール部材の間にわたる軸線方向の範囲である。
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そこで、本発明の課題は、小型化や軽量化を図ることが容易であるとともに、把持精度や繰り返し精度を確保できるハンドリングユニットを提供することにある。
コレット１１は、軸線方向の一部を構成する基準部１１ａを有する。基準部１１ａは、図示例では、後述する作動体１３の内面に対して軸線１０ｘに沿って摺動可能に支持されることにより、軸線１０ｘに対する同軸状の位置及び姿勢が保持された状態となっている。図示例では、基準部１１ａは、軸線１０ｘに沿って同径に形成された円筒面状の外周面を備える一体の筒形状に構成される。この基準部１１ａの軸線１０ｘの方向の先端側（図示左側、以下、単に「軸線方向先端側」という。）には、複数の弾性変形部１１ｂが接続される。弾性変形部１１ｂは、上記基準部１１ａよりも弾性変形が容易な形状寸法となるように構成される。図示例では、弾性変形部１１ｂは、基準部１１ａより薄肉であり、かつ、軸線１０ｘの周りの周方向にスリット１１ｓにより分断された構造とされることで、個々に容易に弾性変形するようになっている。図示例では、軸線１０ｘの周りに３つの弾性変形部１１ｂが、軸線１０ｘの周りに３回対称性を備える態様で、等角度間隔に形成される。コレット１１の軸線１０ｘに沿った内部は軸線方向に貫通した軸孔１１ｘとなっている。
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