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さらに、本実施形態では、ハウジング12の軸線方向先端側の支持部12kと、軸線方向基端側のシリンダ構造12sの内面との間に、これらの間の内側寸法(内径)の差に相当する段差を備えた内側段部12eが設けられるとともに、作動体13の軸線方向先端側の被支持部13kと、軸線方向基端側のシリンダ摺接部13sとの間に、これらの間の外側寸法(外径)の差に相当する段差を備えた外側段部13eが設けられる。これにより、シリンダ構造12sと作動体13の受圧部13d及びシリンダ摺接部13sにより構成されるシリンダ構造の作動面積を大きく確保して大きな把持力を容易に実現できるとともに、軸線方向先端側の構造のコンパクト化が容易化される。

ハウジング12は、筒状(図示例では円筒状)の本体12aと、この本体12aの軸線方向基端側に取り付けられた基端部12bと、本体12aの軸線方向先端側に取り付けられた先端部12cとを有する。ハウジング12の内部にはシリンダ構造12sが設けられ、このシリンダ構造12sの内部に連通する流体供給口12pが上記基端部12bに形成される。図示例では、シリンダ構造12sは、コレット11の基端部11aの外周側から軸線方向基端側に向かう範囲に形成されている。本体12aの内面上には、軸線方向先端側から軸線方向基端側に向かうときに内形寸法(図示例では内径)が増大する段差構造である内側段部12e(第1の段部)が形成される。この内側段部12eは、上記シリンダ構造12sの軸線10xに沿った内面部分(基端側内面部分)と、後述する作動体13の駆動部13cを背後から支持する支持部12k(先端側内面部分)との間に形成される。上記内側段部12eよりもさらに軸線方向先端側において、ハウジング12には、内側へ突出する規制ピン17が取り付けられている。

この場合において、前記作動体の前記先端側外面部分は前記ハウジングの前記先端側内面部分に外周側から支持された状態で前記作動体の前記駆動部が前記コレットの前記被動部を内周側へ駆動することが望ましい。また、前記作動体の前記基端側外面部分と前記ハウジングの前記基端側内面部分との間に介在するシール部材により、前記作動体の前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面との間が気密に構成されることが望ましい。

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上記制御部101は、種々の構成を採ることができる。例えば、MPU(マイクロプロセッサユニット)によって実行されるハンドリング装置100の動作プログラムによって、制御部101が各部を制御するように構成してもよい。この動作プログラムは、上記検出信号Ss、Sc、Sd、Stによってハンドリングユニット10の状況を把握し、この状況に応じて、圧力調整器P1,P2の圧力値、開閉弁V1、V2の開閉状態、ユニット駆動系を含む上記駆動部M1,M2,・・・,Mnを制御する。上記動作プログラムは、制御部101において、以下の各処理を実行する機能実現手段100A、100B、100C、100Dなどを構成する。

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【課題】機械加工の過程で生じる被加工物に対する位置誤差を吸収しながら加工工具の接触面を増やすことができ、しかも加工工具に過負荷を与えることなく効率よく機械加工を行うことが可能な加工工具用保持具および加工方法を提供する。【解決手段】加工工具用保持具1は、筒体10と、その内部に環状隙間g1を有して収容され、先端部21が筒体10の先端より突出している軸体20と、軸体20を先端方向に付勢するコイルばね32と、軸体20を先端方向停止位置と後端方向停止位置との間を移動可能に位置規制する位置規制部36と、筒体10と軸体20とを相対回転不能に筒体10と軸体20とにわたり設けられ係合部37と、筒体10と軸体20とを非回転時に同軸状態に保持するように筒体10と軸体20との間に介装された環状弾性体31と、軸体20の先端部21に設けられ、加工工具の軸部をチャックするチャック部50と、を備える。【選択図】図1

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